Molybdän-Targets werden bei der Herstellung von Dünn filmen durch Magnetron-Sputtern verwendet. Bei diesem Prozess wird ein metallisches Ziel mit hoch energetischen Ionen bombardiert, die Atome von der Ziel oberfläche ausstoßen. Diese ausgestoßenen Atome lagern sich dann auf einem Substrat ab, um einen dünnen Film zu bilden.
Das Funktions prinzip eines Molybdän ziels besteht darin, eine Vakuum umgebung einzurichten, in der das Ziel in einer Kammer gegenüber einem Substrat platziert wird. Das Ziel besteht typischer weise aus Molybdän, da es ein feuerfestes Metall ist, das eine aus gezeichnete thermische und chemische Stabilität aufweist.
Sobald das Vakuum hergestellt ist, wird ein Gas wie Argon in die Kammer eingeführt und durch eine Magnetron-Sputter quelle ionisiert. Das ionisierte Gas wird in Richtung des Molybdän ziels beschleunigt, wodurch Atome von der Oberfläche ausgestoßen werden. Diese ausgestoßenen Atome fliegen dann auf das Substrat zu und lagern sich auf diesem ab, um einen ultra dünnen Film zu bilden.
Die Dicke und die Eigenschaften des Dünn films können durch Einstellen der Prozess parameter wie Leistung, Druck und Gas durchfluss rate gesteuert werden. Molybdän-Targets können verwendet werden, um dünne Filme in einer Vielzahl von Anwendungen herzustellen, von Halbleitern über Solarzellen bis hin zu medizinischen Geräten.
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